проект | Спецификации / параметры |
Реакционная полость | Двуполостная реакционная полость в режиме бокового потока / распыления, основанная на технологии теплового излучения, обеспечивает однородность температуры, оснащена быстродействующими газораспределительными блоками, подавляет реакцию типа CVD, обеспечивает качество пленки и повышает эффективность роста |
Температура полости реакции | RT - 500°C, точность управления ±0,5 °C |
Тип радиочастоты | Конструкция CCP, мощность 0 - 1000 Вт необязательно |
Настройка предшественника | Жидкие, твердые, газообразные, источники озона; Источник тепла 500 мл с использованием теплового излучения для предотвращения проблем засорения, источник постоянной температуры 200 мл |
спецификация подложки | Совместимость менее 8 inch, можно настроить 12 inch |
Манометр | Inficon， Диапазон обнаружения 1000 - 2.5×10 ⁻ Torr |
клапан | Fujikin， Термостойкая температура 200 °C, возможно 300 °C |
расходомер | Horiba，0-1000 sccm |
Нагрузка воздуха | Nneneneed или Ar |
вакуумный насос | Антикоррозионные масляные насосы, сухие насосы, конфигурация по требованию |
контроль | Компьютер + PLC, настраиваемый рабочий контроллер |
Параметры пленки | 8 - дюймовые кремниевые пластины осаждаются толщиной 50 нм, неоднородность оксида алюминия менее 0,5%, плотность тока утечки менее 10 Е - 8А / cm2@3MV /cm |
Вспомогательное технологическое решение | 16 - летний опыт работы с технологией и оборудованием ALD, поддержка зрелого recipe для бесплатного использования клиентами, бесплатное техническое руководство |
Необязательно | Другие функции, такие как Loadlock, подбираются в соответствии с потребностями клиентов. |
