关于我们
ABOUT US
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上海埃拓米半导体有限公司由上海钧乾智造科技有限公司投资。公司位于上海金山,厂房面积2000 m2,其中千级净化房200 m2,主营业务为原子层沉积设备的研发和生产,包括热法双腔侧流/喷淋盘式ALD设备,双腔侧流/喷淋盘式等离子体增强ICP-ALD,双腔侧流/喷淋盘式等离子体增强CCP-ALD,单腔体热法ALD,单腔体等离子体增强ALD,多片batch型ALD,卧式ALD,粉末型ALD,光伏用空间型ALD,以及臭氧发生器,UV-Ozone清洗机。由上海大学丁星伟教授担任技术顾问,复旦大学柏荣旭老师担任技术总监。有上海市市级人才1人,博士6人,均具有10年以上ALD装备和工艺开发经验,各类工程师30余人。
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上海埃拓米半导体有限公司由上海钧乾智造科技有限公司投资。公司位于上海金山,厂房面积2000 m2,其中千级净化房200 m2,主营业务为原子层沉积设备的研发和生产,包括热法双腔侧流/喷淋盘式ALD设备,双腔侧流/喷淋盘式等离子体增强ICP-ALD,双腔侧流/喷淋盘式等离子体增强CCP-ALD,单腔体热法ALD,单腔体等离子体增强ALD,多片batch型ALD,卧式ALD,粉末型ALD,光伏用空间型ALD,以及臭氧发生器,UV-Ozone清洗机。有教授1人,16年国外头部ALD公司技术开发经验1人,首款板式空间型ALD开发1人,上海市市级人才1人,博士6人,均具有10年以上ALD装备和工艺开发经验,各类工程师30余人。
厂房面积
2000 平米+
产品设备
15 +
研发团队
20 +
2000 ㎡+
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15 +
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