2000 ㎡+
厂房面积
15 +
产品设备
20 +
研发团队
产品展示
PRODUCTS LIST
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产品展示
PRODUCTS LIST
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设备可配套
成熟的工艺方案
The equipment can be equipped with mature process solutions.
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1. 高迁移率IGZO-TFT成套工艺方案
2. 高质量高K材料工艺方案
3. 铁电材料ZrO₂-HfO₂成套工艺方案
4. 低阻氮化钛成套工艺
5. 深通孔工艺recipe定制方案
6. 异形件定制化工艺腔体方案
7. 氧化钇防腐涂层
8. 有机分子层
9. Pt, Ru, Cu, W, Ir金属制程
10. 二次电子发射工艺方案
11. 低温无损制程
12. 微纳光栅
13. 薄膜封装钝化
新闻中心
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新闻中心
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APL | 上海大学丁星伟教授团队:基于ALD高-k ZrAlOₓ介质的ZTO-TFT与CNTsZTO CMOS反相器研究
高介电常数(high-k)栅介质材料在提升薄膜晶体管(TFT)及互补金属氧化物半导体(CMOS)反相器性能方面具有关键作用。
一站式ALD技术平台重塑产业格局,国产替代加速突破“卡脖子”难题
国内企业首推ALD全链解决方案,整合设备、工艺与代工服务,助力半导体、光伏等领域降本增效,推动国产技术自主化进程。
一站式ALD技术赋能产业升级,全链解决方案引领行业革新
行业领先企业整合ALD设备与代工服务,以全链条技术能力突破制造瓶颈,助力半导体、新能源等领域客户降本增效,市场份额稳步攀升。